题目内容：
1.电子束光刻时利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应，是一种化学加工。 ( )
参考答案：
选择题：1.电子束光刻时利用电子束照射与光致抗蚀剂产生化学反应，是一种化学加工。 ( )
- 题目分类：西安交通大学--先进制造技术学习指南
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